產品介紹

Gatan SmartEMIC電子束感應電流測量系統(tǒng)

品牌： GATAN 

名稱型號：Gatan SmartEMIC電子束感應電流測量系統(tǒng)

制造商： GATAN公司

經銷商：歐波同有限公司

        產品綜合介紹：

        產品功能介紹

        EBIC分析系統(tǒng)，可以實時軟件控制全自動采集電子束感生電流（EBIC）信號，獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息，終可以測試PN結位置，寬度，少子擴散長度，材料或器件的失效點定位，廣泛應用于電子半導體領域。

        品牌介紹

        美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進入中國市場。GATAN公司以其產品的高性能及技術的先進性在電鏡界享有*聲譽。

        作為設計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產品應用范圍包括材料科學、生命科學、地球物理學、電子學，能源科學等領域， 客戶范圍涵蓋的科研院所，高校，各類檢測機構及大型工業(yè)企業(yè)實驗室，并且在科學研究領域得到了廣泛認同。

        經銷商介紹

        歐波同有限公司是微納米技術服務供應商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的高新技術qi業(yè)，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設有分公司和辦事處。作為電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設備及附屬分析設備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴，公司秉承“打造國內影響力的儀器銷售品牌”的經營理念，與，GATAN品牌強強聯合，正在為數以萬計的中國用戶提供高品質的產品與技術服務。

        產品系統(tǒng)特點：

        高性能、地噪聲EBIC系統(tǒng)，進行定量EBIC測量。界面友好的智能分析軟件運行于DigitalMicrograph軟件平臺。

        用于SEM的SmartEBIC 系統(tǒng)包括：

        •計算機控制的、充電電池供電的EBIC放大器

        •高級EBIC樣品座(ASH)，并配有可調節(jié)的鎢探針以進行臺式接觸。配以適當的Gatan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*

        • 與SEM樣品臺接口

        •鏈接插座及4個BNC型的電纜鏈接，低噪聲這空饋通，適于EBIC和電子束流的測量

        •具有Fireware技術的DigiScan II數字電子束控制系統(tǒng)。它包括兩個模擬輸入，可同時采集攝影質量的圖像，并可靈活控制像素強度、每點駐留時間、掃描旋轉等。對于某些SEM，它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數。

        •配有先進的SmartEBIC應用插件的Digital Micrography軟件，以進行定量測量、線性輪廓的實時和后處理分析

        產品主要技術參數：

        SmartEBIC可以對EBIC信號進行自動控制采集和定量分析:

        掃描控制系統(tǒng):

  1、1-, 2- or 4-比特數據采集提供了超大的動態(tài)范圍

  2、從 16 x 1 至 8000 x 8000 像素掃描分辨率

  3、電子束停留時間，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調

  4、自動調節(jié)圖像顯示大小，使得EBIC實驗過程變得更方便

*5、配置Digi-Scan控制器，實時軟件控制全自動采集，可以在EBIC信號的采集時就對信號進行定量分析，無需附加的后處理，

*6、不僅獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息。

        噪音控制:

  1. 特別設計的EBIC附屬樣品臺

  2. 同軸繞線方式

  3. 可重復使用的鉛酸電池 (15小時續(xù)航時間)

  4. 可以改變放大器的增益，從而*化數據采集的信噪比和帶寬

  5. 兩種可選的一階RC濾波器 ，低通或高通濾波

  6. 低漂移放大模式

  7. 在與PC通訊的時間以外，系統(tǒng)的微處理器會自動切換到睡眠狀態(tài)

  8. 豐富的圖像處理工具。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等。  

  9. 可以適配與Lock-in技術（本系統(tǒng)并不提供，這樣的配置系統(tǒng)將不會對EBIC信號定量分析）

        追蹤:

        通過軟件實現。在12bit（1.22mV）采集分辨率模時為+/-5V。

        自動化:

        即使在放大器參數設定欠佳的條件下，系統(tǒng)也能自動優(yōu)化圖像的顯示大小，從而提供更方便的圖像瀏覽

        可以對放大器的偏移/增益進行自動設置

        軟件:

        流程式一維擴散長度測量

        廣泛的面掃/線掃描分析工具，包括數學分析工具，濾波應用等

        廣泛的圖像顯示方案選項，包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加

        編程語言可助您為自己的實驗編寫定制化軟件

        產品主要應用領域：

        測試PN結位置，寬度，少子擴散長度金屬材料

        材料或器件的失效點定位

        測試半導體材料的位錯密度

        IV特性測試

        應用實例：

        應用一：測試PN結位置，寬度，少子擴散長度
        應用二：材料或器件的失效點定位