掃描電鏡在微電子技術(shù)中的應(yīng)用
掃描電鏡與一般光學顯微鏡相比，具有以下特點：焦深大，視場調(diào)節(jié)范圍寬、圖象立體感強，分辨率高以及通過收集電子束與樣品作用而得到樣品材料結(jié)構(gòu)和物理特性的信息。這些特點對于分析微電子材料和器件來說具有更為突出的效用，因而它在微電子材料和器件分析中的應(yīng)用越來越廣泛。本文主要介紹掃描電鏡在微電子技術(shù)中應(yīng)用。(1)質(zhì)量監(jiān)控與工藝診斷硅片表面沾污常常是影響微電子器件生產(chǎn)質(zhì)量的嚴重問題，為了查清沾污的種類、來源，以清除沾污，就必須對沾污物進行檢查和鑒定。硅片沾污物種類繁多，有太氣中灰塵、加工...
